体声波梯形滤波器的布局设计方法
作者：张大鹏;高杨;贾乐;文数文 单位：西南科技大学信息工程学院;中国工程物理研究院电子工程研究所;核探测与核电子学国家重点实验室(中国科学院高能物理研究所)
本文刊于：《强激光与粒子束》 2018年第1期
关键词:
微电子机械系统;体声波;滤波器;谐振器;布局Keywords
micro electro mechanical system;bulk acoustic wave;filter;resonator;layout
摘要
为保证滤波器性能,缩小滤波器体积,提高晶圆上的芯片数量,提出一种体声波(BAW)梯形滤波器布局的设计方法。该方法包括11条设计准则和设计流程。11条设计准则限制体声波谐振器(BAWR)的形状、位置,BAWR之间的距离,BAWR与焊盘的距离和互连线。设计流程有7个步骤:(1)根据每个BAWR的有效面积,预设每个BAWR的形状;(2)根据BAW梯形滤波器电路结构,排列BAWR;(3)"压缩"布局;(4)对BAWR切趾、微调和旋转;(5)对BAWR和焊盘布线;(6)检测滤波器布局是否符合设计准则;(7)使用声-电磁联合仿真,验证滤波器布局结果。以10个BAWR串并联而成的5阶BAW梯形滤波器为案例,展示了该方法的设计准则和设计流程。优化后的滤波器布局面积利用率达到了44%。对比未优化的滤波器布局,利用该方法优化后的滤波器布局提高了BAW滤波器的带内插损和带外抑制。
本文地址：www.fabiao.net/content-21-8289-1.html
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