金属氧化物半导体SO<sub>2</sub>气体传感器的研究现状

本文刊于: 《传感器与微系统》 2021年第0期

关键词:
SO2传感器 金属氧化物半导体 复合材料

Keywords:
SO2 gas sensor,metal oxide semiconductor,composite materials
摘要
     介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向。

基金项目:
吉林省科技厅项目(20190303064SF);吉林省产业技术研究与开发专项项目(2019C048-4)

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